ＤｅｖｉｃｅＴｒｅｎｄ〜昨年版の前倒し結果を踏襲へ
日経マイクロデバイス 第170号 1999.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第170号（1999.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2677字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （61kb） |
| 雑誌掲載位置 | 14〜15ページ目 |
１９９９年１１月末に登場する半導体技術の国際ロードマップ「Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｏａｄｍａｐ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ（ＩＴＲＳ）」注１）の１９９９年版は，１９９８年版の微細化の前倒し結果を踏襲することになりそうだ（図１）。前倒しの更新を避けたいＤＲＡＭ陣営の思惑が働いたようだ。本誌調査によると，最小加工ピッチの１／２で定義した設計ルールはＩＴＲＳの１９…
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