ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ 実装・一般電子部品〜周辺パッドのＬＳＩを 複数同時測定できる プローブ・カードが登場
日経マイクロデバイス 第169号 1999.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第169号（1999.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全346字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （32kb） |
| 雑誌掲載位置 | 138ページ目 |
検査・分析プリント基板検査装置 周辺にパッドが配置されているＬＳＩを複数同時に測定できるプローブ・カード「Ｐｅｒｉ−Ｃａｎプローブ」を日本マイクロニクスが開発した。パッドを接触させるプローブ・ピンをセラミック基板に対して垂直に埋め込み，その先端部だけを露出させた構造にした。従来と同様の片持ちばり状にしたまま，先端部を１〜１．５ｍｍに縮めた。チップ表面に対して平行な方向に小型化できたため，測定時にプ…
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