NewsLetter LCD〜低温多結晶Si−TFTの 生産能力を東芝が 今秋までに2倍へ拡大
日経マイクロデバイス 第169号 1999.7.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第169号(1999.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全295字) |
形式 | PDFファイル形式 (35kb) |
雑誌掲載位置 | 136ページ目 |
低温多結晶SiTFT工場 低温多結晶Si−TFT液晶パネルの量産ラインの生産能力を,東芝は1999年秋までに2倍に増やす計画である。同社は深谷工場に最先端の生産ラインを4月に稼働させたばかりで,現在の生産能力は1万シート/月である。ガラス基板寸法は400×500mm2。ラインは製造棟のスペースの1/4を占めており,秋までにさらに1/4のスペースが埋まる。残りの1/2のスペースに構築するラインのガラ…
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