特集 Ｐａｒｔ６（囲み）〜ＥＢテスターを評価する ＬＳＩ設計者が増加
日経マイクロデバイス 第169号 1999.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第169号（1999.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2071字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （62kb） |
| 雑誌掲載位置 | 66〜67ページ目 |
設計者が使うツールとして，電子ビーム（ＥＢ）テスターを高く評価するＬＳＩ技術者が増えてきたことが本誌の取材から明らかになった。 これまでＥＢテスターは不良解析のツールと見られていた。ＥＢテスターは故障解析部門が所有し，設計者が自由に使えなかった。設計者がＥＢテスターの購入を要望すると，「上司から故障解析のツールを設計部門で所有する必要はないと却下されてしまっていた」（国内大手ＬＳＩメーカーの設計…
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