特集 特集扉〜０．１３μｍ時代のＬＳＩは設計・製造が一変
日経マイクロデバイス 第169号 1999.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第169号（1999.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全856字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （248kb） |
| 雑誌掲載位置 | 35ページ目 |
ＬＳＩの設計・製造における３０年に一度の変革が０．１３μｍルールを境に起こる。システムＬＳＩ時代の到来が，設計・製造を土台から構築し直す必要を迫るからだ。開発期間の短縮が不可欠のシステムＬＳＩは，生産性の向上という新しい基軸を要求する。工場は，これまで１．３倍／世代で増えてきたウエーハ・コストを世代が進んでも一定になるように改める。プロセスは，トランジスタ技術と配線技術が一気に置き変わる。設計は，…
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特集 Ｐａｒｔ１〜設計・製造を根本から見直す ３０年に１度の変革が起こる
特集 Ｐａｒｔ６（囲み）〜ＥＢテスターを評価する ＬＳＩ設計者が増加
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