DeviceTrend〜300mmラインが2年遅れで量産化
日経マイクロデバイス 第168号 1999.6.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第168号(1999.6.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2011字) |
形式 | PDFファイル形式 (51kb) |
雑誌掲載位置 | 14〜15ページ目 |
先送りになっていた300mmウエーハの量産が,2001年にようやく始まることがハッキリしてきた(図1)。当初の予定から2年遅れたこのタイミングに合わせ,パイロット・ラインが相次いで稼働し始める。結果として1番目 独インフィネオン・テクノロジーズ社(Infineon Technologies AG.)と米モトローラ社(Motorola Inc.)の合弁会社である独セミコンダクタ300社(Semic…
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