NewsLetter LSI(ロジック)〜米IBMがシステムLSIの 生産能力強化を図り 野洲工場へ設備投資
日経マイクロデバイス 第167号 1999.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第167号(1999.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全268字) |
形式 | PDFファイル形式 (46kb) |
雑誌掲載位置 | 170ページ目 |
米IBM Corp.が,システムLSIの生産能力を強化するために野洲工場へ設備投資する。まずは既存ラインの製造装置を一部入れ換え,微細な設計ルールに対応できるようにする。0.25μmに変更する投資をすでに決めた。現在は,0.18μmや0.15μmに変更する投資を「検討中」(日本アイ・ビー・エム)である。Cu配線やSOI(silicon on insulator)を導入する方向。IBMはNECと並…
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