ＤｅｖｉｃｅＴｒｅｎｄ〜継続的先行に賭ける
日経マイクロデバイス 第164号 1999.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第164号（1999.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2280字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （38kb） |
| 雑誌掲載位置 | 24〜25ページ目 |
国内の大手ＬＳＩメーカーが競合他社に先行した微細化を継続する戦略を明確に打ち出した（図１）。０．１８μｍルールの実現をキッカケに，製造装置さえ購入すれば誰でも微細化を実現できるという状況が崩れつつある。この機をとらえてプロセス技術で再び差異化を狙う戦略だ。一方，ウエーハの大口径化は２００１年後半以降へ延期する。３００ｍｍウエーハ対応装置のコストが依然高いことと，ＬＳＩメーカーが投資を抑制している…
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