羅針盤〜だから、１／１０００なんです。
日経ものづくり　第708号　2013.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第708号（2013.9.1）
ページ数	3ページ　（全3444字）
形式	PDFファイル形式　（773kb）
雑誌掲載位置	4〜6ページ目

はら・しろう　１９８９年早稲田大学理工学部助手、１９９０年早稲田大学工学博士。１９９０年理化学研究所基礎科学特別研究員を経て、１９９３年工業技術院（現産業技術総合研究所）電子技術総合研究所入所。１９９４年同主任研究官、２０１１年同ナノエレクトロニクス研究部門内にミニマルシステムグループを設置しグループ長に就任、現在に至る。半導体分野で革新的な生産システムが提案されている。その名も「ミニマルファブ」…