速報〜パナソニック，垂直壁を誤差０．１５μｍでスキャンできる接触式測定機を開発
日経ものづくり　第659号　2009.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第659号（2009.8.1）
ページ数	2ページ　（全2669字）
形式	PDFファイル形式　（514kb）
雑誌掲載位置	26〜27ページ目

パナソニックは，被測定物の垂直な面形状を最大誤差０．１５μｍで高精度にとらえられる接触式３次元測定機を開発した（図１）。設置面積が約１ｍ２と小型で，耐振性も持たせたため，量産ラインの脇に置いて抜き取り検査などに使うことも可能。２００９年１０月にパナソニックファクトリーソリューションズ（本社大阪府門真市）が「ＵＡ３Ｐ−Ｌシリーズ」として受注を開始する。　これまで垂直面を１μｍ以内の誤差で測定できる３…