新製品　デジタル流量センサ〜新開発の整流機構とＭＥＭＳを採用±３％Ｆ．Ｓ．の高精度で双方向の流れ検出
日経ものづくり　第645号　2008.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第645号（2008.6.1）
ページ数	1ページ　（全615字）
形式	PDFファイル形式　（853kb）
雑誌掲載位置	176ページ目

測定装置デジタル流量センサ「ＦＭ−２００」シリーズは，センサの動作状況を確認できるサブ画面と流量を表示するメイン画面を一体化した表示一体型のデジタル流量センサ。センサ部分に新開発の整流機構とＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）を採用し，±３％Ｆ．Ｓ．（フルスケール）の高精度を実現した。順方向と逆方向の流れを検出できる。センサ部分は，ヒーターとそれを挟んだ二つ…