速報〜３ｎｍ単位の位置決め装置 ばねで結合して変位を制御
日経ものづくり 第631号 2007.4.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第631号（2007.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全3301字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （303kb） |
| 雑誌掲載位置 | 25〜27ページ目 |
東京大学生産技術研究所教授でマイクロメカトロニクス国際研究センター長の藤田博之氏らは，３ｎｍという微細な分解能を持つ位置決め装置「ＭＥＭＤＡＣ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ ｔｏ Ａｎａｌｏｇ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）」を開発した。１２組ある各アクチュエータのオン／オフで位置を制御できるため，デジタル信号によって直接制御できる。ＤＡＣの仕組みを応用 ＭＥＭＤＡＣの基…
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