新製品　レーザ顕微鏡〜最適な３次元画像を１クリックで取得　繰り返し測定におけるバラつきも低減
日経ものづくり　第629号　2007.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第629号（2007.2.1）
ページ数	1ページ　（全703字）
形式	PDFファイル形式　（891kb）
雑誌掲載位置	163ページ目

「ＬＥＸＴ　ＯＬＳ３１００」は，半導体や先端素材などの微細表面形状を３次元画像で観察・計測できる走査型共焦点レーザ顕微鏡。理想的な３次元画像がクリック一つで取得できるよう，マニュアル操作を極力排除した操作性を実現。併せて，測定の繰り返し性を向上させた。　ＬＥＸＴ　ＯＬＳ３１００では，「３次元取込ボタン」をクリックするだけで自動的に試料の高さを認識し，明るさやコントラスト比も自動補正した上で最適な３…