新製品 水系透明導電塗料〜フリップチップ・ボンディング後の ICチップも観察・計測可能に
日経ものづくり 第616号 2006.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第616号(2006.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全326字) |
形式 | PDFファイル形式 (805kb) |
雑誌掲載位置 | 182ページ目 |
「LEXT OLS3000−IR」は,ICチップ裏面の3次元形状を高コントラストで観察・計測できる走査型共焦点赤外レーザ顕微鏡。従来の赤外線顕微鏡では困難だった,フリップチップ・ボンディング後のICチップパターンやその裏面,MEMSの内部構造などの観察に向く。SiP(System in Package)の非破壊不良解析ツールとしても活用できる。 主な用途は,ICチップやシリコンウエハの不良解析や環…
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