新製品 FOUPロードポート〜基本構造や気流制御の改善で クリーン度を50%向上
日経ものづくり 第615号 2005.12.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第615号(2005.12.1) |
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ページ数 | 1ページ (全444字) |
形式 | PDFファイル形式 (714kb) |
雑誌掲載位置 | 174ページ目 |
「TAS300 TYPE−E4」は,自動搬送タイプの半導体製造装置に使えるFOUPロードポート。FOUPと半導体製造装置の間でウエハーを出し入れする際の扉となり,外部からのゴミの侵入を防ぐ。FOUPは,半導体製造装置メーカーの業界団体であるSEMIが規格化した,ウエハーの収納用ポッドである。 新開発のロードポートでは,(1)配線・配管の接触をなくし,微小なパーティクルの発生を抑えた(2)ドア開閉時…
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