新製品　光学式リニアエンコーダ〜構成部品をワンチップに集積し　高性能化，設置の簡易化を実現
日経ものづくり　第609号　2005.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第609号（2005.6.1）
ページ数	1ページ　（全429字）
形式	PDFファイル形式　（686kb）
雑誌掲載位置	166ページ目

「ＡＥＤＬ」シリーズは，ガラス製リニアスケールと保持台であるアルミニウム成形材，読み取り用ヘッドを１セットにした高精度・高分解能の光学式リニアエンコーダ。構成部品を半導体ワンチップに集積し，高性能化，設置の簡易化，低価格化を果たした。産業用ロボットをはじめ，Ｘ−Ｙテーブル，リニアモータ，半導体製造装置など高分解能の位置検出を必要とする用途に適する。　デジタル出力タイプの分解能は０．５μｍ，１μｍ，…