新製品　プロファイル研削盤〜リニアモータや静圧軸受の採用で　微細成形加工に対応
日経ものづくり　第603号　2004.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第603号（2004.12.1）
ページ数	1ページ　（全402字）
形式	PDFファイル形式　（416kb）
雑誌掲載位置	152ページ目

　「ＵＰＧ３１Ｌｉ」は微細成形加工に特化した超精密マイクロプロファイル研削盤。ＩＣパッケージの小型・大容量化に伴い超微細化が要求されている金型加工などにおける微細成形加工の用途に適する。価格は３０００万円から。　左右案内面に，流入する油の量を可変させることで剛性を高めた可変静圧軸受を採用。さらに駆動にはコギングを最少限に抑えたリニアモータを採用し，低振動，超精密な位置決めを可能とした。真直度は０．…