レポート〜東大先端研,わずか3分で セラミックスの結晶化に成功
日経ものづくり 第594号 2004.3.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第594号(2004.3.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1354字) |
形式 | PDFファイル形式 (34kb) |
雑誌掲載位置 | 17ページ目 |
通常,数時間かかる非晶質の膜の結晶化が3分で済む─。東京大学が開発した「常温高速結晶化処理技術」は高周波プラズマを利用し,さまざまな物質を100℃以下の温度で結晶化するもの。処理時間が短いため,結晶化工程を生産ラインに組み込める。基板側のダメージが少ないから,さまざまな材料の上に成膜できる。こうした技術の詳しい内容についてはまだ公表されていないが,「特許を見たのか,既に国内外から問い合わせが相当数…
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