特集 機械技術・日本の世界一〜［５ｎｍ］ ■［種目］ＦＩＢのビーム径 ■［勝者］セイコーインスツルメンツ
日経ものづくり 第559号 2001.4.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第559号（2001.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1323字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （259kb） |
| 雑誌掲載位置 | 50ページ目 |
本誌で既報したＮＥＣ，姫路工業大学，セイコーインスツルメンツの３者が共同で開発した「ナノ立体構造を形成する技術」（１）が２００１年の日経ＢＰ技術賞＊の部門賞（機械システム部門）を獲得。２１世紀のキーテクノロジの一つ，ナノテクノロジーの中核技術として高い評価を受けた。 この技術は文字通り，数ｎｍレベルの任意の立体構造物を作る。“製造装置”はセイコーインスツルメンツの集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）「Ｓ…
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