特集 機械技術・日本の世界一〜［０．５ｎｍ］ ■［種目］ＳＥＭの分解能 ■［勝者］日立製作所
日経ものづくり 第559号 2001.4.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第559号（2001.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2754字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （259kb） |
| 雑誌掲載位置 | 44〜45ページ目 |
日立製作所は１９８０年代中ごろから，医療や半導体などの分野向けにＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の「超高分解能」モデルを次々と世に送り出してきた。 例えば加速電圧３０ｋＶのときの分解能は，最初の「Ｓ−９００」が０．７ｎｍ。その後，「Ｓ−５０００」で０．６ｎｍ，昨年発売した「Ｓ−５２００」では０．５ｎｍと着実に引き上げてきた（図１）。 こうした高い分解能は常に世界のトップ。最先端を走り続ける超高分解能ＳＥ…
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