トピックス・テクノロジ 〜NECなど,nmレベルの任意の立体構造物を成形
日経ものづくり 第556号 2001.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第556号(2001.1.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2224字) |
形式 | PDFファイル形式 (206kb) |
雑誌掲載位置 | 52〜53ページ目 |
NEC,姫路工業大学教授の松井真二氏,セイコーインスツルメンツの3者は共同で,μmからnmレベルで任意の形状を持つ3次元構造体の成形に成功した。例えば,図1(a)のコイルは外径600nm×線幅80nm,(b)のパイプ(ベロー)は外径2.75μm×高さ6.1μm。NECはじめ3者は半導体や医療など様々な分野で期待されるナノテクノロジーの中核技術として実用化していく構えだ。 ナノサイズの機械部品は,…
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