トピックス・テクノロジ 〜東大生研など，研磨布を使わない鏡面研磨技術を開発
日経ものづくり 第552号 2000.9.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第552号（2000.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1339字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （134kb） |
| 雑誌掲載位置 | 60ページ目 |
東京大学生産技術研究所の谷泰弘教授と日本ミクロコーティング（本社東京都昭島市）の研究グループは，従来不可欠だった研磨布を使わずに鏡面研磨加工ができる新しい鏡面研磨技術「複合粒子研磨加工法」を開発した。加工精度が向上するほか，加工コストも大幅に低減できる可能性がある。 従来の半導体ウエハや液晶ガラスなどの鏡面研磨には，下定盤の上に研磨パッドと呼ばれる研磨布を張り付ける。この研磨パッドに，上定盤でワ…
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