ＭＡＰ　Ｆｏｃｕｓ〜精密位置決め機構の採用で　μｍオーダの微細加工
日経ものづくり　第549号　2000.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第549号（2000.6.1）
ページ数	1ページ　（全1510字）
形式	PDFファイル形式　（92kb）
雑誌掲載位置	75ページ目

　富士電機は，半導体向け電子部品やＬＣＤ（液晶），シリコンウエハなどの微細加工に適した，波長３５５ｎｍの紫外線Ｎｄ：ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザ加工装置「ＦＡＬ−４０００」を開発した（図１）。出力は６Ｗ（マルチモード）。　ＹＡＧレーザ（基本波の波長１０６４ｎｍ）と波長変換結晶でつくられた第２高調波（波長５３２ｎｍ，緑色）を混ぜ合わせて，波長３５５ｎｍの第３高調波を効率良く…