Ｈｏｔ Ｎｅｗｓ〜ＥＵＶ露光の消費電力を１０分の１に 沖縄科学技術大がミラー減らす新技術
日経エレクトロニクス 第1268号 2024.10.1
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1268号（2024.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全3488字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （968kb） |
| 雑誌掲載位置 | 11〜13ページ目 |
沖縄科学技術大学院大学（ＯＩＳＴ）教授の新竹積氏は、先端半導体の製造に使うＥＵＶ（極端紫外線）露光装置の消費電力を従来の１０分の１に低減する技術を提案した。光学系の設計を簡素化して光の損失を減らし、消費電力を１００ｋＷ以下に抑えた（図１）。ＥＵＶ露光装置の課題だった消費電力やコストの増加を解決する技術として期待が高まる。 今回の技術は、光学系の収差補正理論を見直すことで大幅な省電力化を実現するもの…
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