Emerging Tech 解説 半導体製造〜キヤノンが半導体露光装置を再加速 AIチップ実装独占しArFも諦めず
日経エレクトロニクス 第1264号 2024.6.1
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1264号(2024.6.1) |
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ページ数 | 3ページ (全3389字) |
形式 | PDFファイル形式 (842kb) |
雑誌掲載位置 | 76〜78ページ目 |
キヤノンの半導体露光装置事業がかつての勢いを取り戻している。ArF液浸露光装置やEUV(極端紫外線)露光装置を事業化できず、オランダASMLやニコンとの開発競争に敗れた同社。ところがここにきて、生成AI(人工知能)を支える先端パッケージング向けの市場を総取りしている。ナノインプリントリソグラフィー装置を発売し、微細化の最先端にも返り咲く(図1)。フルラインナップで王者ASMLに対抗しようと、かつて…
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