Ｂｒｅａｋｔｈｒｏｕｇｈ　特集１　半導体　覇権の行方〜ＩＢＭからの打診も「担える国内企業がいない」ラピダス誕生の舞台裏
日経エレクトロニクス　第1250号　2023.4.1

第２部：日本動向先端半導体の国産化を目指す企業、Ｒａｐｉｄｕｓ（ラピダス、東京・千代田）が誕生した。同社は設立されるやいなや、ＥＵＶ（極端紫外線）露光装置の確保にめどをつけ、米ＩＢＭやベルギーの研究機関ｉｍｅｃの協業を立て続けに発表している。まずは量産にこぎつけられるのか、さらに人材を集められるのか。日本半導体が険しい道の第一歩を踏み出した。「先端半導体の製造を担いたがる国内企業がいない」─。ラピ…