Hot News〜コンデンサーをリソで製造 Al電解品の1/1000に小型化
日経エレクトロニクス 第1159号 2015.9.1
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1159号(2015.9.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2428字) |
形式 | PDFファイル形式 (780kb) |
雑誌掲載位置 | 20〜21ページ目 |
産業技術総合研究所は、カーボンナノチューブ(CNT)を電極に利用した「CNT集積化マイクロキャパシター(IEDC)」を開発した注1)。IEDCはICに近い工程でSiウエハー上に製造する薄型の電気2重層コンデンサー(EDLC)である。 性能面の特徴は、エネルギー密度、出力密度、充放電速度を既存のアルミニウム(Al)電解コンデンサーに対して高い水準で実現した点である。エネルギー密度は約1000倍だ(…
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