ＮＥレポート〜ＧａＮ ＬＥＤ／ＬＤ用基板に新候補 格子不整合が小さいＳＣＡＭ
日経エレクトロニクス 第1142号 2014.9.1
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1142号（2014.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2284字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （604kb） |
| 雑誌掲載位置 | 16〜17ページ目 |
福田結晶技術研究所は、高品質な、口径５０ｍｍ（２インチ）のスカンジウム・アルミニウム・マグネシウム・オキサイド（ＳｃＡｌＭｇＯ４、通称：ＳＣＡＭ（スキャム））結晶の開発に成功した（図１）。青色ＬＥＤ素子や青紫色半導体レーザーダイオード（ＬＤ）といったＧａＮ系発光素子の基板での利用を想定している。 現在の青色ＬＥＤ素子では一般にサファイア基板が使われている。これをＳＣＡＭ基板に置き換えることで、電…
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