キーワード〜ＥＵＶ
日経エレクトロニクス　第1103号　2013.3.4

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第1103号（2013.3.4）
ページ数	1ページ　（全806字）
形式	PDFファイル形式　（202kb）
雑誌掲載位置	114ページ目

　ＥＵＶとは、波長１３．５ｎｍの極端紫外線（ｅｘｔｒｅｍｅ　ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）のこと。軟Ｘ線とも呼ばれる。この光を利用したＥＵＶ露光技術は、半導体のさらなる微細化を可能にする次世代露光技術として期待されている。　これまで半導体の露光技術は、使用する光の波長を短くすることで露光時の解像力を高め、微細化に対応してきた。ただし、ここ１０年ほどは光の波長が１９３ｎｍから変わっていない。波長を短くする…