ＮＥレポート〜出力５０倍の振動発電素子 ＩＭＥＣがＭＥＭＳ技術で実現
日経エレクトロニクス 第1073号 2012.1.9
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1073号（2012.1.9） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全977字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （262kb） |
| 雑誌掲載位置 | 13ページ目 |
ベルギーＩＭＥＣとオランダＨｏｌｓｔ Ｃｅｎｔｒｅは、振動のエネルギーから高い変換効率で電力を得る振動発電素子を開発した。ＭＥＭＳ技術を用いて、１５０ｍｍのＳＯＩウエハー上に作製した。素子寸法が３ｍｍ×３ｍｍ×１．７ｍｍ、振動周波数が１０１１Ｈｚの場合に最大４８９μＷの電力を出力するという。 一般に振動発電素子の出力は、その素子面積におおむね比例する。３ｍｍ角の寸法で４８９μＷという出力電力は、…
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