ＮＥレポート〜光電子増倍管をＭＥＭＳで形成　浜松ホトニクスが開発
日経エレクトロニクス　第1042号　2010.11.1

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掲載誌	日経エレクトロニクス　第1042号（2010.11.1）
ページ数	1ページ　（全975字）
形式	PDFファイル形式　（435kb）
雑誌掲載位置	15ページ目

　浜松ホトニクスは，ＭＥＭＳ技術を用いて製造することができる小型の光電子増倍管「μＰＭＴ」を，世界で初めて開発した。Ｓｉ基板をエッチングによって９００μｍほど垂直に深堀りし，電子増倍部（ダイノード）の精密な構造を形成した（図１）注１）。ガラス管を用いる従来型の光電子増倍管と比較して，体積で１／７，質量で１／９の小型・軽量化を実現した。　光電子増倍管（ＰＭＴ）は高感度の光センサだが，従来は数十点の部…