特報〜高密度なナノチューブ膜が登場，半導体プロセスで加工可能
日経エレクトロニクス　第980号　2008.6.16

（写真：産業技術総合研究所）　引っ張り強度は高張力鋼の２０倍，熱伝導率はＣｕの１０倍，電流密度はＣｕの１０００倍，さらに耐食性も優れるとされるカーボン・ナノチューブ（ＣＮＴ）。このような特徴を生かせばデバイスの小型化や感度向上などを狙えるとし，ＭＥＭＳスイッチやＭＥＭＳセンサなどにＣＮＴを利用する研究が進む。しかし，実用化を考えると大きな壁が立ちはだかる。配向したＣＮＴを任意位置に再現性良く形成し…