論文〜上流工程の電気的検査でＭＥＭＳの製造コストを削減
日経エレクトロニクス　第976号　2008.4.21

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第976号（2008.4.21）
ページ数	8ページ　（全9360字）
形式	PDFファイル形式　（1565kb）
雑誌掲載位置	109〜116ページ目

中村　光宏アジレント・テクノロジー・インターナショナル電子部品計測事業部　マーケティング部マイクや圧力センサ，アクチュエータなどさまざまなＭＥＭＳデバイスが開発されている。需要は旺盛だが，普及の足かせとなっているのが製造コストの高さ。しかし，製造工程における機械的な検査を電気的な検査で代替することで，歩留まりの改善とコスト低減が期待できる。本稿ではその基本的な考え方と検査方法を解説してもらう。（吉…