解説 測定装置＜共焦点顕微鏡＞〜３次元形状を迅速に取得太陽電池などに用途拡大
日経エレクトロニクス 第952号 2007.5.21
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第952号（2007.5.21） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全5857字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （2126kb） |
| 雑誌掲載位置 | 95〜100ページ目 |
微細な３次元形状を容易に観察・測定できる「共焦点顕微鏡」の用途が拡大している。これまではＬＳＩや薄型ディスプレイといった分野で主に使われていたが，今後は光学フィルムや太陽電池，自動車といった分野にも用途が広がる。これらの分野は従来の技術では測定が難しいと考えられていたが，技術革新によって克服した。 光学フィルムの表面に生じた１ｎｍ単位の凹凸，太陽電池表面の透明保護膜の膜厚，自動車向け電子部品のリー…
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