ＮＥＴｓ〜マイク・オン・チップをＭＥＭＳで実現 急成長の可能性を秘める
日経エレクトロニクス 第945号 2007.2.12
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第945号（2007.2.12） |
|---|---|
| ページ数 | 5ページ （全3706字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （276kb） |
| 雑誌掲載位置 | 171〜175ページ目 |
Ｓｉチップ上に作り込んだマイクロホンが関心を呼んでいる。標準ＣＭＯＳプロセスにＭＥＭＳ技術を適用したもので，大量生産に向き，小型で低価格に実現できるという。既存のコンデンサ・マイクを上回る性能を実現しており，応用先が大きく広がると予測する。（堀切 近史＝本誌）Ｒｏｇｅｒ Ａｌｌａｎ米Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｄｅｓｉｇｎ誌Ｃｏｎｔｒｉｂｕｔｅｉｎｇ Ｅｄｉｔｏｒ 投票の結果，米Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｄ…
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