Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜測定誤差が０．００５％と小さい
日経エレクトロニクス　第914号　2005.12.5

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掲載誌	日経エレクトロニクス　第914号（2005.12.5）
ページ数	1ページ　（全316字）
形式	PDFファイル形式　（207kb）
雑誌掲載位置	48ページ目

　エプソントヨコムは，水晶振動子を利用した圧力センサ「ＴＳＵシリーズ」のサンプル出荷を開始した。水晶振動子に応力を加えると，共振周波数がほぼ直線的に変化する性質を利用する。この周波数の変化が高精度かつ安定であるため，誤差が小さくなる。具体的には，測定誤差が０．００５％と小さく，ヒステリシス（低い圧力から高い圧力へ変化したときの測定値と，高い圧力から低い圧力へ変化したときの測定値の差）も０．００８％…