Ｗｈａｔ’ｓ Ｎｅｗ〜電池不要のセンサなど ＭＥＭＳ部品は応用で競う
日経エレクトロニクス 第913号 2005.11.21
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第913号（2005.11.21） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2889字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （369kb） |
| 雑誌掲載位置 | 46〜47ページ目 |
ＭＥＭＳなど超小型デバイスに関連する技術の展示会「第１６回マイクロマシン展」が，２００５年１１月９日〜１１日に東京の科学技術館で開催された。各出展者は，微細加工技術を駆使したセンサなどを見せるだけにとどまらず，応用例の展示によって超小型デバイスがセンサ・ネットワークや燃料電池，高密度実装などで大きな効果を生み出すことを強調していた。 センサ・ネットワークへの応用展開を見せて来場者の関心を集めてい…
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