Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜走査型電子顕微鏡 可搬式で専用スペース不要 分解能は最小２０ｎｍ
日経エレクトロニクス 第889号 2004.12.20
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第889号（2004.12.20） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全587字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （283kb） |
| 雑誌掲載位置 | 52ページ目 |
日本電子は，キャスター付きで移動が可能な小型の走査型電子顕微鏡「ＪＣＭ−５１００」を発売した。外形寸法は幅４００×奥行き６００×高さ１１７５ｍｍ３。 一般に走査型電子顕微鏡は付帯設備が大きい。このため，市販されている製品の大半は据置型で，専用の検査室に設置してある。これに対して今回の製品は「半導体，電子部品，材料などの製造過程で，検査や故障解析を必要とする現場に電子顕微鏡を運んでいき，手軽に開発…
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