Ｓｅｌｅｃｔｅｄ Ｓｈｏｒｔｓ〜ＮＥＣ，カーボン・ナノチューブの 直径や位置の精度を高める技術を開発
日経エレクトロニクス 第883号 2004.9.27
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第883号（2004.9.27） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全238字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （128kb） |
| 雑誌掲載位置 | 49ページ目 |
ＮＥＣは，直径のバラつきが少ないカーボン・ナノチューブを高い位置精度で形成できるプロセス技術を開発した。電気特性がそろったカーボン・ナノチューブを，電子回路中の所望の個所に形成することが可能になる。今回の実験では，平均直径が１．３ｎｍで，直径バラつきが±０．４ｎｍの単層カーボン・ナノチューブを形成できた。フォトリソグラフィを利用して，カーボン・ナノチューブの成長の基点となる触媒金属の大きさと形成…
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