Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜３軸加速度センサ　パッケージの厚さが１．４ｍｍと薄い
日経エレクトロニクス　第882号　2004.9.13

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第882号（2004.9.13）
ページ数	1ページ　（全252字）
形式	PDFファイル形式　（96kb）
雑誌掲載位置	71ページ目

沖電気工業は，３軸加速度センサ・モジュール「ＭＬ８９５０」を発売した。パッケージの厚さは１．４ｍｍで，他社の最薄品に比べて０．１ｍｍ薄い。携帯機器などに向ける。センサ素子はＳＯＩウエハーを用いたＭＥＭＳ技術で製造する。この素子と制御ＩＣを実装面積が５×５ｍｍ２のパッケージに封止した。検出結果をデジタル信号で出力できるので，従来は外付けしていたＡ−Ｄ変換ＩＣを省ける。ＴＥＬ（０４２６）６２−６６９９…