Ｇｕｅｓｔ Ｐａｐｅｒ〜ＬＳＩの電磁雑音源を特定できる 分解能４０μｍのプローブを開発
日経エレクトロニクス 第877号 2004.7.5
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第877号（2004.7.5） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全7754字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （212kb） |
| 雑誌掲載位置 | 123〜128ページ目 |
ＬＳＩの動作周波数向上とプロセス・ルールの微細化に伴い，チップ内部で電磁雑音が干渉したり伝播したりすることを防ぐ，電磁雑音対策がこれまでにも増して重要な課題になっている。こうした現象がＬＳＩの信号品質を劣化させ誤動作を招いたり，電磁雑音の増大につながったりするためである。雑音源を特定できれば有効な測定結果をＬＳＩの設計にフィードバックできる。しかし，これまで電磁雑音の測定に用いてきたプローブでは，…
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