Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜電子線露光装置 Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃなど記録媒体の原盤を作製
日経エレクトロニクス 第872号 2004.4.26
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第872号（2004.4.26） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全256字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （50kb） |
| 雑誌掲載位置 | 54ページ目 |
パイオニアＦＡは，「Ｂｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ」など高密度光ディスク媒体の原盤作製に向けた電子線露光装置「高精度電子ビームレコーダー」を発売した。この装置を使えば，直径１２ｃｍの記録媒体の片面に５０Ｇバイトのデータを書き込むための原盤を製造できる。電子線のビーム径は８０ｎｍで，ビーム電流は９０ｎＡ。最大で直径２００ｍｍのＳｉ基板に露光可能。今回の製品はパイオニアと共同開発したもの。ＴＥＬ（０４９）２…
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