Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜レーザ加工装置　　８０ｍｍ／ｓの加工速度で±２μｍの精度
日経エレクトロニクス　第870号　2004.3.29

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第870号（2004.3.29）
ページ数	1ページ　（全242字）
形式	PDFファイル形式　（56kb）
雑誌掲載位置	54ページ目

丸文は，「レーザ微細加工ステージシステム」を発売した。フラットパネル・ディスプレイの微細加工に利用する。従来，レーザ加工はレーザ照射時に被照射物を載せるステージを静止させる必要があったが，この装置ではステージを一定速度で走査させながら加工できる。紫外線レーザであるエキシマ・レーザを利用すれば，８０ｍｍ／ｓの走査速度時で２μｍ以下の精度を保証する。ＴＥＬ（０３）３６３９−９８１１価格は８０００万円（…