Selected Shorts〜ゲート長5nmのCMOSトランジスタ,NECが詳細を公表
日経エレクトロニクス 第863号 2003.12.22
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第863号(2003.12.22) |
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ページ数 | 1ページ (全590字) |
形式 | PDFファイル形式 (77kb) |
雑誌掲載位置 | 33ページ目 |
NECとNECエレクトロニクスは,「IEDM 2003」でゲート長が5nmと業界最小のバルクCMOSトランジスタの試作結果を公表した。試作したトランジスタを使ってオン/オフ動作を確認した。5nmというゲート長は,テクノロジー・ノード(最小加工寸法)としては11nmに相当し,半導体業界の技術ロードマップなどでは2020年〜2021年の量産開始を見込まれている。これまで発表された最小ゲート長は,今回…
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