Leading Trends〜狙った所にナノチューブで LSI化への道が見えた
日経エレクトロニクス 第855号 2003.9.1
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第855号(2003.9.1) |
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ページ数 | 10ページ (全16717字) |
形式 | PDFファイル形式 (657kb) |
雑誌掲載位置 | 65〜74ページ目 |
エレクトロニクス機器にカーボン・ナノチューブを利用できる時期が見えてきた。従来に比べて4ケタ高い感度を誇るセンサが2006年,2008年ころにはCu配線以上に電流を流せるLSIなどが登場しそうだ。実用化が現実味を帯びてきたのは,電極などの狙った個所に高い確率でカーボン・ナノチューブを形成する技術が確立してきたからだ。この技術の水準を高めていくことで,2010年過ぎにはSiを超える動作特性のトランジ…
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