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特集 センサも無線も、MEMSで作る〜応用動向 研究室から飛び出し いよいよ使える段階へ
日経エレクトロニクス 第834号 2002.11.4
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第834号(2002.11.4) |
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ページ数 | 8ページ (全12345字) |
形式 | PDFファイル形式 (331kb) |
雑誌掲載位置 | 108〜115ページ目 |
「壊れやすい」「量産性が低い」「価格が高い」…μmオーダの微小な電子機械システムを実現するMEMS技術は長年こうしたマイナス・イメージが付きまとっていた。これが変わる。今後数年で,テレビやケータイなど身近な機器にMEMS技術で作った部品が載る。この変化を受け,ソニー,米IBM Corp.をはじめとする世界中のエレクトロニクス・メーカーがMEMS技術への取り組みを一気に表面化させ始めた。 センサやス…
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