Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜測定精度は１０ｎｍ
日経エレクトロニクス 第821号 2002.5.6
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第821号（2002.5.6） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全247字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （104kb） |
| 雑誌掲載位置 | 51ページ目 |
松下電器産業は，測定精度が１０ｎｍの３次元測定機を発売した。青色レーザによる次世代光ディスク用非球面レンズ，光ファイバ通信用部品，大容量メモリの表面凹凸形状など，ナノ・レベルの微細形状が測定できる。独自開発の原子間力プローブの搭載により，半径２μｍの微細コーナーまで１０ｎｍの精度で測定できるようにした。測定範囲は最大４００ｍｍ×４００ｍｍ×９０ｍｍ。ＴＥＬ（０６）６９０５−４８５３価格は５０００万…
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