Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜アナログ混載ＤＳＰを安く　キャパシタを小型化
日経エレクトロニクス　第818号　2002.3.25

　米Ｔｅｘａｓ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　Ｉｎｃ．（ＴＩ社）は，０．０９ｎｍルールのＣＭＯＳ技術の詳細を２００２年２月に明らかにした。２００３年第３四半期から量産を開始する。ゲート長，ゲート絶縁膜厚など，微細化の一般的な指標は国際技術ロードマップにほぼ準拠した形だが，製品版のプロセス技術の発表時期では競合他社に先駆けた格好だ。「学会などでは，０．１ｎｍルールの技術発表は今までもあった。しかし，製品版…