新製品ニュース〜分解能０．５ｎｍの走査型電子顕微鏡　表面と組成を同時に観察する機能も搭載
日経エレクトロニクス　第778号　2000.9.11

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第778号（2000.9.11）
ページ数	1ページ　（全520字）
形式	PDFファイル形式　（191kb）
雑誌掲載位置	80ページ目

　日立製作所は，加速電圧３０ｋＶ，１ｋＶ時の分解能がそれぞれ０．５ｎｍ，１．８ｎｍの走査型電子顕微鏡「Ｓ−５２００」を発売した。これまでの最高分解能はそれぞれ０．６ｎｍ，２．５ｎｍだった。　一般に，分解能を向上させるには焦点距離を短くする必要がある。同社の走査型電子顕微鏡では，対物レンズの中に試料を挿入する方式を用い焦点距離を短くしている。これにレンズ自体の改良を加え，焦点距離をさらに短くしている…