編集後記〜編集後記 Editor’s Note
日経エレクトロニクス 第763号 2000.2.14
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第763号(2000.2.14) |
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ページ数 | 1ページ (全887字) |
形式 | PDFファイル形式 (30kb) |
雑誌掲載位置 | 240ページ目 |
「うなぎの蒲焼き? 半導体メーカにとっていまや避けて通れない話題になったCu配線技術(pp.149−176)。あるプロセス技術者はそれを「うなぎの蒲焼」に例えます。ウエーハがうなぎなら,Cu配線に使うメッキ液は,タレです。うなぎの白焼きが作れても,お客さんが「うまい」と思う蒲焼はそう簡単にはできません。まずはタレ。そして,その後の焼き方。それぞれがノウハウです。それを繁盛店に聞いたところで,タレの…
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